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如何避免出料不流畅—12寸晶圆盒无毛刺0卡料

文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2019-08-13 17:05【

出现卡料问题,需要检查哪些呢?

1.轨道宽度。

2.框架翘起的情况。

3.料盒位置的摆放与质量问题。



晶圆盒是用于周转存储晶圆的载具。亚博亚洲平台鑫的12寸晶圆盒,采用独特的卡槽导角设计,可以100%防止卡槽接触到晶元。表面内槽光滑无毛刺,避免晶圆受损及因毛刺发生的卡料问题。采用优质6063铝型材,阳极氧化处理,耐磨耐腐耐高温,不变形起始位精确,减少因磨损与变形导致的铁圈通料不流畅。起始位32.7mm、平整度0.05mm,重量6.3kg

亚博亚洲平台鑫设计生产多款晶圆盒,适合不同机型的使用,耐磨耐高温,不变形。尺寸精准,与设备运行相匹配,0卡料。与多家知名企业长期合作,获得行业内的好评。同时为满足客户需求与实际情况,可非标定制不同规格材质的晶圆盒,48小时出货,非标8天,客服24小时在线.